半导体工厂动力系统

江苏 无锡 · 工业冷水机组 + 管路

半导体工厂动力系统

半导体工厂工艺冷却与高纯管路系统,围绕洁净度与连续性设计。

面临的挑战

  • CLASS 1000 洁净度
  • 零非计划停机
  • 窄温度带控制

交付内容

工业冷水机组 预制管路 智能控制系统

交付成果

  • 工艺稳定性提升
  • 节能 16%

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