半导体工厂动力系统
江苏 无锡 · 工业冷水机组 + 管路
半导体工厂工艺冷却与高纯管路系统,围绕洁净度与连续性设计。
面临的挑战
- CLASS 1000 洁净度
- 零非计划停机
- 窄温度带控制
交付内容
工业冷水机组
预制管路
智能控制系统
交付成果
- 工艺稳定性提升
- 节能 16%